ಇದು ಇಎಮ್ 8000 ನ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್ ಆವೃತ್ತಿಯಾಗಿದ್ದು, ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್ ಇ-ಬೀಮ್ ಟ್ಯೂಬ್ ವೇಗವರ್ಧನೆಯೊಂದಿಗೆ, ನಿರ್ವಾತ ಮೋಡ್ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ, ಕಡಿಮೆ ವೋಲ್ಟೇಜ್ನಲ್ಲಿ ಸ್ಪಾಟಿಂಗ್, ಸುಲಭ, ಅನುಕೂಲಕರ ಮತ್ತು ಸ್ನೇಹಪರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಬಹು ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಪುನರ್ರಚನೆ ಯೋಜನೆ ಇಲ್ಲದ ವಾಹಕವಲ್ಲದ ಮಾದರಿಯನ್ನು ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಲಭ್ಯವಿದೆ. ಇದು 1nm (30kV) ನಲ್ಲಿ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಮೊದಲ FEG SEM ಆಗಿದೆ.
ಅನುಕೂಲಗಳು:
1, ಶಿಟ್ಕಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಗನ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊಳಪು, ಉತ್ತಮ ಏಕವರ್ಣ, ಸಣ್ಣ ಕಿರಣದ ತಾಣ, ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿ.
2, ಇ-ಬೀಮ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಅಕ್ಸೆಲರೇಶನ್, ಐಚ್ಛಿಕ ಹಂತದ ಕುಸಿತದೊಂದಿಗೆ
3, ಸ್ಥಿರ ಕಿರಣದ ಪ್ರವಾಹ, ಕಡಿಮೆ ಶಕ್ತಿಯ ಹರಡುವಿಕೆ
4, ಕಡಿಮೆ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ನಲ್ಲಿ ಚೆಲ್ಲಾಪಿಲ್ಲಿಯಿಲ್ಲದೆ ನಡೆಸುವ ಮಾದರಿ ವೀಕ್ಷಣೆ
5, ಸುಲಭ, ಅನುಕೂಲಕರ ಮತ್ತು ಸ್ನೇಹಪರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್
6, ಬೃಹತ್ 5 ಅಕ್ಷಗಳು ಯಾಂತ್ರಿಕೃತ ಹಂತ
ವಿಶೇಷಣಗಳು:
ಸಂರಚನೆ | |
ನಿರ್ಣಯ | 1nm@30kV (SE) |
3nm@1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
ವರ್ಧನೆ | 15x-800,000x |
ವೋಲ್ಟೇಜ್ ವೇಗವರ್ಧನೆ | 0-30kV ನಿರಂತರ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆ |
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಗನ್ | ಸ್ಕಾಟ್ಕಿ ಫೀಲ್ಡ್ ಎಮಿಷನ್ ಗನ್ |
ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಎಮಿಟರ್ | ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಮೊನೊ-ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ |
ಐದು ಅಕ್ಷಗಳು ಯೂಸೆಂಟ್ರಿಕ್ ಆಟೋ ಹಂತ | ಎಕ್ಸ್: 0 ~ 150 ಮಿಮೀ |
ವೈ: 0 ~ 150 ಮಿಮೀ | |
Z: 0 ~ 60mm | |
ಆರ್: 360 ° | |
ಟಿ: -5 °~75 ° | |
ಗರಿಷ್ಠ ಮಾದರಿ | 320 ಮಿಮೀ |
ಎಲ್*ಡಬ್ಲ್ಯೂ*ಎಚ್ | 342mm*324mm*320mm (ಒಳಗಿನ ಕೋಣೆಯ ಗಾತ್ರ) |