ಅನುಕೂಲಗಳು:
ಈ ಸರಣಿಯ ಪಂಪ್ ಕಠಿಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ (ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಧೂಳು, ಇತ್ಯಾದಿ) ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸುದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಸರಳ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ಅನುಕೂಲಕರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ.
ಅರ್ಜಿಗಳನ್ನು:
ಮುಖ್ಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ, PVD, CVD, ಅಯಾನ್ ಅಳವಡಿಕೆ, ನಿರ್ವಾತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆ, ಲೋ-ಇ ಗ್ಲಾಸ್, ITO ಗ್ಲಾಸ್, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೇಪನ, ಸೌರ ಕೋಶಗಳು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಬೀಮ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್, ನಿರ್ವಾತ ಕುಲುಮೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳು
ವಿಶೇಷಣಗಳು:
ಫ್ಲೇಂಜ್ (ಇನ್) | DN400 ISO-K | ಗ್ಯಾಸ್ ಉದ್ದಕ್ಕೂ (sccm) | N2: 5500 |
ಫ್ಲೇಂಜ್ (ಔಟ್) ಕೆಎಫ್ | ಡಿಎನ್ 100 | ಅವನು 000 4000 | |
ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗ (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
ಅವನು : 2650 | ಅರ್ : 2100 | ||
H280 1280 | ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ವೇಗ (rpm) | 13500 | |
ಅರ್ : 3200 | ರನ್-ಅಪ್ ಸಮಯ (ನಿಮಿಷ) | 18 | |
ಸಂಕೋಚನ ಅನುಪಾತ | N2: 108 | ಕೂಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕಾರ, ಪ್ರಮಾಣಿತ | ನೀರು |
ಅವನು : 103 | ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರಿನ ಬಳಕೆ (ಎಲ್/ನಿಮಿಷ) | 1 | |
H2: 102 | ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರಿನ ತಾಪಮಾನ (℃ | ಸಂಖ್ಯೆ 25 | |
ಅರ್ : 108 | ವಿದ್ಯುತ್ ಸಂಪರ್ಕ: ವೋಲ್ಟೇಜ್, ವಿ ಎಸಿ | DC24/AC220 | |
ಅಂತಿಮ ಒತ್ತಡ (Pa) | 6 × 10-6 | ಗರಿಷ್ಠ ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆ (W) | 1100 |
ಗರಿಷ್ಠ ನಿರಂತರ ಫೋರ್-ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಒತ್ತಡ (Pa) | 100 | ನಿಯಂತ್ರಕ ಮಾದರಿ | FD-III |
ಗರಿಷ್ಠ ಮುಂಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಒತ್ತಡ | N2: 300 | ತೂಕ (ಕೆಜಿ) | 130 |